真空碳管燒結爐是指使粉末壓坯通過燒結獲得所需的物理、力學性能以及微觀結構的設備。燒結爐用于烘干硅片上的漿料、去除漿料中的有機成分、完成鋁背場及柵線燒結。為了保證粉末壓坯在燒結過程中的脫蠟（潤滑劑或成形劑）、還原、合金化、組織轉(zhuǎn)變等順利進行，燒結時需要對燒結溫度、保護氣氛、壓坯傳送方式、加熱和冷卻速度等進行的控制。
真空碳管燒結爐主要用于工業(yè)陶瓷、結構陶瓷、金屬陶瓷、硬質(zhì)合金行業(yè)作為材料在氣氛和壓力條件下的燒結設備。系周期作業(yè)式電爐，它是以優(yōu)質(zhì)石墨作發(fā)熱體的高溫、高真空電阻爐，額定溫度為2000℃。在特殊需要的情況下，允許在保護氣氛中，短時間工作到2400℃-2500℃?？晒┙饘?、難熔化合物及陶瓷材料等在真空或保護氣氛中加熱之用。
真空碳管燒結爐主要由爐體、爐門、加熱與保溫及測溫系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、液壓系統(tǒng)等組成。
1、爐體：雙層304不銹鋼水冷結構，并經(jīng)精密拋光，有利于縮短抽氣時間，且便于清潔；
2、爐蓋：雙層水冷的結構，內(nèi)外壁均為304并經(jīng)精密拋光處理，中間通冷卻水。
3、加熱保溫及測溫系統(tǒng)：采用鉬絲加熱，氧化鋁絕緣柱組成筒形結構形式；隔熱屏采用由內(nèi)層鉬片(5層)外層為1層不銹鋼片組成6層隔熱屏，屏蓋與屏底的材料與之相同，也采用6層，特點潔凈度高，能快速加熱,透氣性好。上下壓頭采用高強度石墨。測溫元件采用鎢錸熱電偶，可控硅控溫，配置有PID功能儀表，數(shù)顯表，具有超溫聲光報警功能，也可選用PLC觸摸屏自動控制，并保留歷史數(shù)據(jù)，便于分析燒結過程。
4、真空系統(tǒng)：由油擴散泵、羅茨泵、機械泵配電磁壓差閥（防止因突然停電、機械泵油倒灌）充氣閥、放氣閥、真空蝶閥、真空壓力表（±Pa）波紋管、真空管路和支架等組成。
5、充氣系統(tǒng)：由各種管道及閥門組成，并配有電磁放氣閥、壓力傳感器，當爐內(nèi)壓力高于安全值時會自動放氣，充氣管路上裝有針閥，可控制充氣量，用于燒結工藝所需充氬氣、氮氣的氣氛要求；
6、水冷系統(tǒng)：由各種閥管道相關裝置組成且設有斷水聲光報警自動切斷加熱源等功能。
7、充氣裝置：主要由充氣閥、流量計、充氣管道等組成，用于燒結工藝所需充氬氣、氮氣的氣氛要求；
8、控制系統(tǒng)：由可編程控制器PLC、溫控儀、真空計、電壓電流表、直流穩(wěn)壓電源、空開、接觸器、繼電器、按鈕、指示燈等組成，以實現(xiàn)供電、控制、記錄、監(jiān)視、報警保護功能。
9、液壓系統(tǒng)：采用電動輸入方式。由液壓站配有進口比例閥、壓力傳感器、位移顯示器采用光柵尺（測距精度0.02mm）、液壓缸等相關液壓裝置，壓力調(diào)節(jié)半自動化、可通過手動調(diào)節(jié)。儀表可設定自動調(diào)節(jié)壓力，并能實現(xiàn)穩(wěn)壓、保壓。
